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在科技創新板開市三周年之際，中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱中微公司)作為科技創新板首批上市的25家企業之一，也迎來了上市三周年。攀登勇者，志在巔峰。隨著科創新委員會成立以來，依托強有力的政策和財政支持，半導體設備龍頭股堅持創新驅動發展，實踐科學管理規則，實現業績穩步增長，在技術創新、業務發展、產業鏈協調、人才建設等方面取得了重大進展。

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· 公司營業收入和利潤分別達到31.08億元和10.11億元，是2019年銷售和利潤的1.5倍和5.3倍；

· 截至2021年底，公司已申請2012項專利，其中發明專利1741項；

· 2021年共生產付運ICP蝕刻設備134腔，產量同比增長235%；

· 2021年，公司員工1048人，其中研發人員占39.6%，人均創收再創新高，同比增長15.5%。

建立科技創新委員會，實行注冊制度，為科技創新產業的發展注入新的活力，為高新技術企業的發展創造新的機遇。尹志公司董事長兼總經理尹志堯博士說：在科技創新板上市對中微公司具有重要意義。回顧過去三年，我們拓寬了融資渠道，增強了品牌的市場影響力，贏得了更多與產業鏈上下游企業合作的機會；另一方面，良好的股權激勵政策也使我們能夠更好地激勵員工，建團隊，加快發展，為世界領先的一流設備公司鋪平道路。”

2019年7月22日，中微公司在首批25家科技創新企業集體上市儀式上合影留念。

國際領先的尖端產品，構建企業硬技術的實力

中微公司致力于開發打造具有國際競爭力的技術創新和差異化產品，為客戶和市場提供性能優越、生產效率高、性價比高的設備解決方案，開發微觀加工設備。

中微公司憑借國內首款高端等離子體刻蝕機，已成為國內高端微觀加工設備的領頭羊。在蝕刻設備方面，中微等離子體蝕刻設備已批量應用于65納米至14納米、7納米、5納米、更先進的集成電路加工制造和先進包裝，其中 CCP等離子體蝕刻設備產品繼續保持競爭優勢，部分關鍵客戶的市場份額已進入前三甚至前兩位；ICP蝕刻設備在客戶端也取得了突破，2021年付運超過130腔，同比增長超過230%。

在MOCVD中微公司用于氮化鎵基LED外延生產的MOCVD該設備已在行業領先的客戶生產線上大規模投入大規模生產，中微公司已成為世界領先的氮化鎵基LED設備制造商，并繼續保持行業領先地位。

此外，中微公司還在開發應用于集成電路后道的先進封裝設備MEMS、Mini LED國際先進設備產品等領域。截至2021年底，中微公司已有2300多洲50多家芯片制造公司0多家芯片制造公司提供70多條生產線。

高效利用資金，創新動能蓄勢發力

中微公司上市后，高效利用募集資金，不斷創新、提高效率、精益經營，與客戶和合作伙伴合作共贏，穩步提高產品訂單和銷售。2021年，中微企業營業收入和利潤創歷史新高，營業收入同比增長36.7%至31.08億元，歸屬于母公司的凈利潤同比增長105.5%至10.11億元，是2019年科技創新板上市當年銷售和利潤的1.5倍和5.3倍。

中微公司作為一家實力雄厚的硬科技公司，登陸科技創新板后，繼續保持高水平的研發投入。R&D投資大，R&D投資比例高，保證了公司專注于高端微加工設備的自主R&D和創新。自上市三年以來，公司繼續推進以研發創新為驅動的優質增長戰略的實施。2021年，公司研發同比增長13.8%，占2021年營業收入的23.42%。截至2021年底，中微擁有多項自主知識產權和核心技術，申請2012項專利，其中發明專利1741項，授權專利1179項，其中發明專利993項。

硬科技的實力離不開一支技術精湛、勇于創新的國際人才隊伍。上市后，中微公司實施了第二類限制性股票激勵計劃，基本覆蓋全體員工，吸引和留住優秀人才，確保核心技術團隊和技術開發的穩定性和可持續性。全員持股的激勵制度和雙贏合作的團隊精神吸引了世界各地經驗豐富的半導體設備專家，形成了成熟的研發和工程技術團隊。2021年，公司研發人員415人，占員工總數的39.6%；同時，公司人均收入再創新高，達到326萬元，同比增長15.5%。

2021年，公司成功完成再融資發行，募集資金約82億元，是繼2019年科技創新板上市后支撐企業快速發展的又一里程碑。公司不斷提高R&D投資的強度和效率，有效保證了公司在科技創新、高水平R&D團隊建設、科學合規運營、國內外業務拓展、領先客服支持等方面的質量，不斷提升企業的綜合競爭力，積累產品、技術和運營能力的重要儲備。隨著籌集資金的到位，公司加快了南昌研發生產基地和上海臨港產業化基地的建設。未來兩年，中微公司將全面建現有面積大十倍以上的工廠，進一步擴大高端設備生產能力，提高研發能力和科技創新水平，為高速、穩定、安全的大發展奠定堅實基礎。

南昌R&D生產基地約14萬平方米(圖左)，上海臨港新區R&D生產基地約18萬平方米，總部大樓約10萬平方米(圖右)。

打造具有國際競爭力的平臺企業

作為中國領先的高端微觀加工設備公司，除了加快技術創新，提高產業規模外，整合產業鏈上下游及相關資源是中微企業的另一個動力點。中微公司希望充分發揮其行業影響力和聚集力 ，積極推進國內外多家領先的半導體設備、材料和關鍵部件配套企業的協調發展，共同建設企業創新聯盟，逐步形成產業集群。

中微公司在保持快速發展的道路上，通過不斷的探索和實踐，積極踐行企業社會責任，幫助實現和實現國家雙碳目標Epson代理。2022年4月，中微公司首次發布 “ESG 《環境、社會和治理報告》充分展示了其在提高產品質量和服務、完善治理機制、履行社會責任、保護環境等方面的一系列措施和成果。

上市三周年也標志著中微企業迎來了新的成長階段。公司堅決實施科學管理和經營體系，不斷提高企業經營質量，堅持四十為中心，通過產品開發、戰略銷售、經營管理、精神文化行業宣傳輸出，與國內外合作伙伴實現技術進步，共同促進半導體產業的快速發展。

未來，中微公司將繼續瞄準世界科技前沿，繼續實施三維發展戰略，深化集成電路關鍵設備領域，擴大泛半導體關鍵設備應用，積極探索其他新興領域，微型公司進入國際競爭平臺企業集團，以硬技術實力加快科技力量建設，實現高水平科技發展。