2022年10月25日,中國上海——10月25日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(以下簡稱中微公司MOCVD另一個里程碑受到設(shè)備系列的歡迎第500臺MOCVD國內(nèi)專業(yè)從事設(shè)備順利運輸LED研發(fā)和制造外延片和芯片。這個里程碑不僅僅是中微公司MOCVD充分證明了產(chǎn)品的卓越性能和服務(wù)的專業(yè)優(yōu)勢,也認(rèn)可和肯定了公司持續(xù)創(chuàng)新的技術(shù)能力和穩(wěn)步發(fā)展的綜合實力。
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本批次運輸?shù)牡?00臺MOCVD該設(shè)備于2021年6月由中微公司推出Prismo UniMax,主要用于氮化鎵基Mini LED大規(guī)模生產(chǎn)外延片。近年來,隨著光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,Mini LED廣泛應(yīng)用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示、車載顯示、戶外顯示等終端產(chǎn)品。
自推出以來, Prismo UniMax MOCVD該設(shè)備以其優(yōu)異的波長均勻性、高能效、高產(chǎn)能等優(yōu)點迅速得到了市場的認(rèn)可,專業(yè)的團隊及時的現(xiàn)場支持和詳細(xì)、標(biāo)準(zhǔn)化的技術(shù)服務(wù)也受到了客戶的青睞。作為一種高性能Mini LED量產(chǎn)設(shè)計MOCVD設(shè)備,Prismo UniMax具有高產(chǎn)能、高靈活性的特點,在同一時間Microsemi代理一個系統(tǒng)可配備多達4個反應(yīng)腔,每個反應(yīng)腔可獨立控制。Prismo UniMax配置了785mm通過石墨托盤的不同設(shè)計配置,大直徑石墨托盤最多可加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,有效提高產(chǎn)能,降低生產(chǎn)成本。此外,Prismo UniMax創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)可以準(zhǔn)確控制托盤局部區(qū)域的溫度,有助于更大程度地提高LED波長均勻性。
中微公司MOCVD設(shè)備Prismo UniMax
目前,中微公司開發(fā)了一系列MOCVD行業(yè)內(nèi)主要設(shè)備LED量產(chǎn)已全面投入生產(chǎn)線。Prismo UniMax是MOCVD該產(chǎn)品系列還包括新一代設(shè)備系列產(chǎn)品Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。2013年,中微公司率先發(fā)布國內(nèi)自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備Prismo D-BLUE。此后,中微公司于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5產(chǎn)品。
這個里程碑是中微公司在未來取得的又一個重要突破MOCVD進一步發(fā)展產(chǎn)品市場奠定了堅實的基礎(chǔ)。中微公司副總裁兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平說:我們?yōu)橹形⒐鹃_發(fā)的一系列系列系列感到非常自豪。MOCVD該設(shè)備得到了客戶和市場的廣泛認(rèn)可,部分產(chǎn)品在細(xì)分領(lǐng)域的市場份額居世界第一。未來,隨著新應(yīng)用的進一步擴大,我們將繼續(xù)促進與客戶的密切合作和溝通,通過技術(shù)領(lǐng)域的不斷創(chuàng)新,不斷為客戶提供有競爭力的產(chǎn)品和解決方案,實現(xiàn)穩(wěn)定發(fā)展和深度雙贏,共同為行業(yè)創(chuàng)造更美好的明天。”
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